PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明 |
點擊次數:587 更新時間:2022-11-16 |
PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明 (真空至300 psig) - 930系列 930 系列隔膜閥(1-1 / 8英寸的閥體尺寸)可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性,泄漏完整性和清潔度,使其在UHP半導體行業(yè)中成為理想的應用。 930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產生和截留,減少 半導體應用中的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供 穩(wěn)定和免維護的使用壽命。930系列閥[門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和 泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean" 316L不銹鋼材質。Vericlean" 是派克 的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。930系列還提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE ), 聚醚醚酮樹脂( PEEK⑧)和聚酰亞胺( Vespel⑧)材質的閥座,可使930閥門與多種工藝流 體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。 930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關,用以提供開-關位置指示。還有多種閥體構造 可選,包括930Y系列( Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。 930系列閥門上內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試, 以適應在苛刻的UHP應用中, 保有其性能和穩(wěn)定性。 市場: 半導體 分析實驗室 ●制藥 , 生物制藥 ●航空航天 .工業(yè) PARKERUHP隔膜閥特點與優(yōu)勢: ●電拋光表面光潔度: 5微英寸( Ra ) ●高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務) ●內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留 ●全壓力范圍使用:從真空到300 psig ●內部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe .外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He ●AOP驅動,額定壓力為75 psig PARKERUHP隔膜閥應用: 腐蝕性氣體和特種氣體 半導體工具 工具連接 燃氣柜. 閥組箱(VMB) 上一篇:派克UHP隔膜閥的安裝維護及故障消除介紹 下一篇:PARKER梭閥SGT0025SSBHN產品技術規(guī)格介紹 |