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電離真空計IRG080型它的原理是什么?-INFICON英福康
點擊次數(shù):607 更新時間:2023-04-03

電離真空計IRG080型它的原理是什么?-INFICON英???/span>


電離真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。

由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。


電離真空計IRG080原理

在低壓強氣體中,氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強成正比。電離真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。

按照離子產(chǎn)生的方法不同,利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計;其中,熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和測 量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管,管內(nèi)有陰極、柵極和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位;柵極相對于陰極 電正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后,陰極發(fā)射電子,在電子到達柵極的過程中,與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一定時,正離子數(shù)目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后,經(jīng)測量電路放大,可由批示電表讀出所要測量的真空度。

熱陰極電離真空計規(guī)管類似一支三極管,如圖a所示,由筒狀板極(離子收集極)C,柵極網(wǎng)G和位于柵極網(wǎng)中心的陰極燈絲F構(gòu)成,筒狀板極在陽極柵網(wǎng)外面。

圖b是其外控電路,柵極電位在+100~+300V之間,板極的電位在0~-50V之間。陰極燈絲F通電發(fā)熱后便發(fā)射電子,由于陽極柵網(wǎng)G為正電壓,發(fā)射出的電子被加速,電子與內(nèi)部的氣體分子相碰,使氣體分子發(fā)生電離,氣體壓強大,氣體的密度就大,碰撞機會越多,產(chǎn)生的正離子也越多。正離子在筒狀板極負電壓的作用下,吸引正離子形成板極電流,氣體分子密度越大(即壓強越大),板極電流也越大,反之就小。在測量范圍內(nèi)板極電流與被測壓強成正比。

真空系統(tǒng)暴露大氣后,電離規(guī)玻璃泡和電極表面會吸附很多氣體,在真空環(huán)境下,氣體又被釋放出來,影響測覺精度。為消除這種影響,在測量前必須對規(guī)管進行除氣。電離規(guī)管除氣采用烘烤方法,即給燈絲和柵極可分別通電加熱,板極則采用高頻感應(yīng)加熱或電子轟擊,使氣體在測量前被釋放出來。一般電離真空計都具有除氣功能,當(dāng)真空度大于1×10^-2Pa時,按說明書要求對電離規(guī)管進行除氣 。


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